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P系列真空排氣臺技術參數表格
  • 用途及特點
  • 規格參數
    產品應用
     
    用于電真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、調速管等真空排氣。

     
    主要結構與工作方式
     
    ●手工裝料
    ●立式,單工位、多工位
    ●主機與控柜一體或分開設置
         型號    
          Mode    
           技術參數  
      Technical Data   
    P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
    主極限真空度
    Ultimate Vacuum
    ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
    烘箱真空
    Baking Chamber Vacuum
    ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
    烘箱工作空間
    Baking Chamber Dimension
    Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
    真空系統
    Vacuum System
    分子泵系統
    Turbo Pump System
    分子泵系統
    Turbo Pump
     System
    離子泵系統
    Ion Pump System
    冷凝泵系統
    Cryopump System
     
    ******溫度
    Max.Temperature
    650℃ 600℃ 600℃ 600℃
    溫度均勻性(軸向)
    Temperature Uniformity
    ≤±5℃三點測溫
    (3 point measurement)
    ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點測溫
    (3 point measurement)
    抽氣速度
    Pumping Speed
    ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
    加熱功率
    Heating Power
    12 KW 18 KW(10可調,8固定)
    (10 adjustable,8 fixed)
    9 KW 10 KW
    總功率
    Total Power
    15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
    加熱方式
    Heating Mode
    外加熱
    Outside Heating
    外加熱
    Outside Heating
    內加熱
    Inside Heating
    內加熱
    Inside Heating


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